400-677-0098
熱解碳化硼生長爐
熱解碳化硼生長爐
產品描述:
熱解碳化硼生長爐主要用于半導體領域,如OLED坩堝、PBN板材/環舟、VGF坩堝、LEC坩堝等的制備
應用范圍:
OLED坩堝、PBN板材/環舟、VGF坩堝、LEC坩堝等

熱解碳化硼生長爐技術特征

采用先進的控制技術,能精密控制BCl3/NH3的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動??;

全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,環境友好;

可選配新設計的防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率低;

適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/BCl3/NH3。

熱解碳化硼生長爐產品規格

參數\型號VCVD-0305-BNVCVD-0608-BNVCVD-0612-BNVCVD-0812-BNVCVD-1120-BNVCVD-1218-BNVCVD-1315-BNVCVD-1520-BN
工作區尺寸 φ×H(mm)300×500600×800600×1200800×12001100×20001200×18001300×15001500×2000
最高溫度(℃)20002000200020002000200020002000
溫度均勻性(℃)±5±7.5/±10±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

熱解碳化硼生長爐配置選擇

結構形式:立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質:石墨/CFC

熱電偶:C分度號

紅外儀:單比色/雙比色

真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組

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