400-677-0098
熱解石墨沉積爐
熱解石墨沉積爐
產品描述:
熱解石墨沉積爐主要用于石墨、半導體器件、耐熱沖刷材料的表面熱解炭涂層制備
應用范圍:
石墨、半導體器件、耐熱沖刷材料

熱解石墨沉積爐技術特征

電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

采用智能壓力調控,壓力波動??;

全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強; 

多通道工氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統,環境友好,易清理;

可選配外循環快冷系統,降溫時間短,生產效率高;

適于工藝氣氛:真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。

熱解石墨沉積爐產品規格

參數\型號VCVD-0305-CVCVD-0505-CVCVD-0608-CVCVD-0612-CVCVD-0812-CVCVD-1120-CVCVD-1218-CVCVD-1520-C
工作區尺寸 φ×H(mm)300×500500×500600×800600×1200800×12001100×20001200×18001500×2000
最高溫度(℃)23002300230023002300230023002300
溫度均勻性(℃)±5±5±5/±7.5±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應

以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

熱解石墨沉積爐配置選擇

結構形式:立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質:石墨/CFC

紅外儀:單比色/雙比色

電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)

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