400-677-0098
碳化鉭涂層爐
碳化鉭涂層爐
產品描述:
碳化鉭涂層爐主要用于熱彎模具、半導體坩堝、耐溫燒蝕材料的表面碳化鉭涂層制備
應用范圍:
熱彎模具、半導體坩堝、耐溫燒蝕材料

碳化鉭涂層爐技術特征

采用先進的控制技術,能精密控制TaCl5、CH4的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動??;

多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,環境友好;

適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/TaCl5/CH4。

碳化鉭涂層爐產品規格

參數\型號HCVD-101015-TaCHCVD-152023-TaCVCVD-0608-TaCVCVD-0612-TaCVCVD-0812-TaCVCVD-1120-TaCVCVD-1218-TaCVCVD-1520-TaC
工作區尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800600×1200800×12001100×20001200×18001500×2000
最高溫度(℃)20002000200020002000200020002000
溫度均勻性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

碳化鉭涂層爐配置選擇

結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質:石墨/CFC

熱電偶:C分度號

紅外儀:單比色/雙比色

真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組

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