400-677-0098
超高溫硼化物沉積爐
超高溫硼化物沉積爐
產品描述:
超高溫硼化物沉積爐主要用于碳碳復合材料及其它新型炭材料等超高溫陶瓷化處理
應用范圍:
炭炭板材、炭炭噴管等

超高溫硼化物沉積爐技術特征

采用先進的控制技術,能精密控制H2、C3H6的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動??;

全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,環境友好;

可選配新設計的防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率低;

適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。

超高溫硼化物沉積爐產品規格

參數\型號HCVD-101015-ZrCHCVD-152023-ZrCVCVD-0608-ZrCVCVD-0812-ZrCVCVD-1120-ZrCVCVD-1218-ZrCVCVD-1520-ZrC
工作區尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800800×12001100×20001200×18001500×2000
最高溫度(℃)2000200020002000200020002000
溫度均勻性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

超高溫硼化物沉積爐配置選擇

結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質:石墨/CFC

熱電偶:C/S分度號

紅外儀:單比色/雙比色

真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組

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